Экспериментальное определение параметров уравнений адсорбции
5
Таблица 1
Газ
Химическая
формула
Поправочный
коэффициент,
K
1
Пропускная
способность
регулятора
расхода раз-
личных газов
по отношению
к азоту, %
Азот
N
2
1,00
100
Воздух
—
1,00
—
Аммиак
NH
3
0,73
113
Аргон
Ar
1,45
87
Арсин
AsH
3
0,67
—
Диоксид углерода
CO
2
0,74
79
Сероуглерод
CS
2
0,60
—
Оксид углерода
CO
1,00
—
Четыреххлористый углерод
CCl
4
0,31
—
Четырехфтористый углерод
(фреон-14)
CF
4
0,42
—
Хлор
Cl
2
0,86
—
Диборан
B
2
H
6
0,44
—
Дихлорсилан
SiH
2
Cl
2
0,40
53
Фтороформ (фреон-23)
CHF
3
0,50
—
Фреон-13
CClF
3
0,38
—
Фреон-115
C
2
ClF
3
0,24
—
Четыреххлористый германий
GeCl
4
0,27
—
Гелий
He
1,454
203
Водород
H
2
1,01
263
Хлористый водород
HCl
1,00
271
Метан
CH
4
0,72
—
Оксид азота
NO
0,99
—
Диоксид азота
NO
2
0,74
—
Кислород
O
2
1,00
95
Фосфин
PH
3
0,76
—
Силан
SiH
4
0,60
87
Четыреххлористый кремний
SiCl
4
0,28
—
Шестифтористая сера
SF
6
0,26
—
Трихлорсилан
SiHCl
3
0,33
—
