ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
111
Поскольку интенсивность рассеянного излучения на длине волны
266 нм на несколько порядков больше интенсивности флуоресцен-
ции, то для регистрации рассеянного излучения ширину входной ще-
ли для фрагмента спектра № 1 устанавливали равной 4 мкм, что поз-
воляло снизить чувствительность подсистемы регистрации и прини-
мать сигнал без насыщения.
Для каждого фрагмента спектра устанавливали определенный
вид светофильтра. При регистрации рассеянного излучения на длине
волны 266 нм, поскольку мешающих излучений не было, свето-
фильтр отсутствовал, и на вход спектрального прибора поступало
излучение всех длин волн. При регистрации излучения флуоресцен-
ции мешающими излучениями были зафиксированы возбуждающее
излучение на 266 нм и излучение самой флуоресценции, которое
могло привести ко вторым порядкам дифракции полихроматора. Для
предотвращения данных мешающих излучений устанавливали отре-
зающие светофильтры.
Перекрытие фрагментов спектра задавалось равным 30 %. Каж-
дый фрагмент спектра усреднялся по 10 измерениям.
Далее регистрируемые спектры обрабатывались. Алгоритм обра-
ботки спектра представлен на рис. 3.
Первый фрагмент спектра обрабатывался отдельно от остальных
и использовался для компенсации систематической погрешности
определения длины волны полихроматора. На первом этапе опреде-
лялись длина волны максимума интенсивности фрагмента спектра в
диапазоне 250…280 нм, смещение этой длины волны относительно
истинного значения длины волны 266 нм (систематическая погреш-
ность определения длины волны полихроматора), далее спектр сдви-
гался на найденное значение. В результате максимум спектра рассе-
янного излучения оказывался точно на длине волны 266 нм и систе-
матическая погрешность определения длины волны полихроматором
компенсировалась. Далее записывался в файл сигнал упругого рассе-
яния на длине волны 266 нм в диапазоне 262…270 нм.
Фрагменты спектра № 2—6 на первом этапе объединялись в один
результирующий спектр. Формула для объединения
i
-го и (
i
+ 1)-го
фрагментов имеет вид
1
1
,
;
1
,
;
,
2 ,
i
l
i
i
l
l
l L P
i
l L P
FSp
l L P
l L P
l L P
Sp
FSp
FSp
L P l L
P
P
FSp
L l
L P
 
 
  
 
  
 
 
  
 

 
  

  

1,2,3,4 6,7,8